ULVAC真空泵排氣性能穩定，噪音低 打開氣鎮閥，可排出一定量的水蒸氣，并凈化油箱內的真空泵油 維修保養方便 設有底部放油口和專門加油口，便于定期換油降低泵的油溫，減少油的氧化和劣化，延長油的使用壽命 降低吸入泵中的蒸氣及粉塵所引起的油污染的程度，從而減少油更換的頻率，降低使用成本。